走査型電子顕微鏡

方式

MA-tekは高機能SEM日立S-4800を有し、顧客に満足頂けるよう24時間サービスを提供致しています。

走査型電子顕微鏡法(SEM)は試料の表面凹凸など微細構造を調査するのに最も適した技法です。

MA-tekは、高分解能電界放射型SEM(FE-SEM)日立S-4800や、S-8020と多様な機種を揃えており、
これらの装置は試料の表面並びに断面観察を行うことが出来、微細寸法(CD)の計測も可能であり、
最高倍率は10万倍になります。

更に又特別付属品EDS(エネルギー分散型検出器)により特定された微細構造内原子の定量分析も可能です。

対応装置


  • S-4800

  • S-8020

応用

  • 1.あらゆる種類の固体試料の表面および断面の微細構造観察
  • 2.多層試料の観察と高精度微小寸法計測
  • 3.EDXによる、特定点、特定線、特定領域の定性および半定量分析
  • 4.受動表面電位コントラスト像による、素子に於ける金属接触不良、ショート、ポリゲートリーク、
    ポリシリコン残渣などの検出
  • 5.自動撮像システムの適用により、光学顕微鏡やSEMを用いることにより、
    各層ごとのリバースエンジニアリングによる回路解析
  • 6.EMMI(発光顕微鏡)やOBIRCH(光励起抵抗変化検出法)と共用することにより、
    故障箇所の検出や微細切断法と組み合わせることによりその箇所の詳細調査
  • DRAMセルの平面観察
    safter removing
    capacitors
  • DRAMセルの
    ワードライン接続
    の断面
  • 断面SEMの典型例2
    金属配線1ポリシリコン
  • 静電破壊の平面像
  • ICのリバース
    エンジニアリング
  • 受動表面電位
    コントラスト(PVC)

お問い合わせ